FEOL MOL BEOL
FEOL: Front-End-Of-Line, 俗称前端，描述diffusion layer如何与poly连接，Tox厚度等等。 MOL: Middle-Of-Line, MOL layer, 从FinFET时代起常见的技术，描述Poly、diffusion和Local interconnect layer的连接，加入MOL layer在一定程度上可以减少local wire的电阻。 BEOL: Back-End-Of-Line, 俗称后端，负责描述place-and-route阶段的global wire。